Стр. 27
Страницы:
Стр.1 |
Стр.2 |
Стр.3 |
Стр.4 |
Стр.5 |
Стр.6 |
Стр.7 |
Стр.8 |
Стр.9 |
Стр.10 |
Стр.11 |
Стр.12 |
Стр.13 |
Стр.14 |
Стр.15 |
Стр.16 |
Стр.17 |
Стр.18 |
Стр.19 |
Стр.20 |
Стр.21 |
Стр.22 |
Стр.23 |
Стр.24 |
Стр.25 |
Стр.26 |
Стр.27 |
Стр.28 |
Стр.29 |
Стр.30 |
Стр.31 |
Стр.32 |
Стр.33 |
Стр.34 |
Стр.35 |
Стр.36 |
Стр.37 |
Стр.38 |
Стр.39 |
Стр.40 |
Стр.41 |
Стр.42 |
Стр.43 |
Стр.44 |
Стр.45 |
Стр.46 |
Стр.47 |
Стр.48 |
Стр.49 |
Стр.50 |
Стр.51 |
Стр.52 |
Стр.53 |
Стр.54 |
Стр.55 |
Стр.56 |
Стр.57 |
Стр.58
нагревом металлической матрицей
(ионное
осаждение) металлокерамический карбид диэлектрические
вольфрама (16), карбид слои (15)
кремния (18)
молибден и его сплавы диэлектрические
слои (15)
бериллий и его сплавы диэлектрические
слои (15)
материалы окон датчиков (9) диэлектрические
слои (15),
алмазоподобный
углерод (17)
2.3. Физическое керамика (19) и стекла с силициды,
осаждение из малым коэффициентом линейного диэлектрические
паровой фазы, расширения (14) слои (15),
полученной алмазоподобный
лазерным углерод (17)
нагревом
углерод-углерод, диэлектрические
композиционные материалы слои (15)
с керамической или
металлической матрицей
металлокерамический карбид диэлектрические
вольфрама (16), карбид слои (15)
кремния (18)
молибден и его сплавы диэлектрические
слои (15)
бериллий и его сплавы диэлектрические
слои (15)
материалы окон датчиков (9) диэлектрические
слои (15),
алмазоподобный
углерод (17)
2.4. Физическое суперсплавы сплавы на основе
осаждение из силицидов,
паровой фазы, сплавы на основе
полученной алюминидов (2),
катодно-дуговым MCrAlX (5)
разрядом
полимеры (11) бориды,
и композиционные материалы карбиды,
с органической матрицей нитриды,
алмазоподобный
углерод (17)
3. Твердофазное углерод-углерод, силициды,
диффузионное композиционные материалы с карбиды,
насыщение (10) керамической или смеси перечисленных
металлической матрицей выше материалов (4)
титановые сплавы (13) силициды,
алюминиды,
сплавы на основе
алюминидов (2)
тугоплавкие металлы и силициды,
сплавы (8) оксиды
4. Плазменное суперсплавы MCrAlX (5),
напыление модифицированный
диоксид циркония (12),
смеси перечисленных
выше материалов (4),
истираемый
никель-графитовый
материал,
истираемый никель-
хром-алюминиевый
сплав,
истираемый
алюминиево-кремниевый
сплав, содержащий
полиэфир, сплавы на
основе алюминидов (2)
алюминиевые сплавы (6) MCrAlX (5),
модифицированный
диоксид циркония (12),
силициды,
смеси перечисленных
выше материалов (4)
тугоплавкие металлы и алюминиды,
сплавы (8) силициды,
карбиды
коррозионно-стойкие стали (7) MCrAlX (5),
модифицированный
диоксид циркония (12),
смеси перечисленных
выше материалов (4)
титановые сплавы (13) карбиды,
алюминиды,
силициды,
сплавы на основе
алюминидов (2),
истираемый
никель-графитовый
материал,
истираемый никель-
хром-алюминиевый
сплав,
истираемый
алюминиево-кремниевый
сплав, содержащий
полиэфир
5. Нанесение тугоплавкие металлы и оплавленные силициды,
шликера сплавы (8) оплавленные алюминиды
(кроме резистивных
нагревательных
элементов)
углерод-углерод, силициды,
композиционные материалы с карбиды,
керамической или смеси перечисленных
металлической матрицей выше материалов (4)
6. Осаждение суперсплавы сплавы на основе
распылением силицидов,
сплавы на основе
алюминидов (2),
алюминиды,
модифицированные
благородным
металлом (3),
MCrAlX (5),
модифицированный
диоксид циркония (12),
платина,
смеси перечисленных
выше материалов (4)
керамика (19) и стекла с силициды,
малым коэффициентом линейного платина,
расширения (14) смеси перечисленных
выше материалов (4),
диэлектрические
слои (15),
алмазоподобный
углерод (17)
титановые сплавы (13) бориды,
нитриды,
оксиды,
силициды,
алюминиды,
сплавы на основе
алюминидов (2),
карбиды
углерод-углерод, силициды,
композиционные материалы с карбиды,
керамической или тугоплавкие металлы,
металлической матрицей смеси перечисленных
выше материалов (4),
диэлектрические
слои (15),
нитрид бора
металлокерамический карбид карбиды,
вольфрама (16), карбид вольфрам,
кремния (18) смеси перечисленных
выше материалов (4),
диэлектрические
слои (15),
нитрид бора
молибден и его сплавы диэлектрические
слои (15)
бериллий и его сплавы бориды,
диэлектрические
слои (15),
бериллий
материалы окон датчиков (9) диэлектрические
слои (15),
алмазоподобный
углерод (17)
тугоплавкие металлы и алюминиды,
сплавы (8) силициды,
оксиды,
карбиды
7. Ионная высокотемпературные присадки хрома,
имплантация подшипниковые стали тантала или ниобия
титановые сплавы (13) бориды, нитриды
бериллий и его сплавы бориды
металлокерамический карбид карбиды, нитриды
вольфрама (16)
Примечания к таблице:
1. Термин "процесс нанесения покрытия" включает как нанесение
первоначального покрытия, так и ремонт, а также обновление
существующих покрытий.
2. Покрытие сплавами на основе алюминида включает одно- или
многоступенчатое нанесение покрытия, в котором элемент или элементы
осаждаются до или в процессе нанесения алюминидного покрытия, даже
если эти элементы наносятся с применением других процессов. Это,
однако, не включает многократное использование одношагового процесса
твердофазного диффузионного насыщения для получения легированных
алюминидов.
3. Покрытие алюминидом, модифицированным благородным металлом,
включает многошаговое нанесение покрытия, в котором слои
благородного металла или благородных металлов наносятся каким-либо
другим процессом до нанесения алюминидного покрытия.
4. Термин "смеси" означает материалы, полученные пропиткой,
материалы с изменяющимся по объему химическим составом, материалы,
полученные совместным осаждением, в том числе слоистые; при этом
смеси получаются в одном или нескольких процессах нанесения
покрытий, описанных в таблице.
5. MCrAlX соответствует сплаву покрытия, где М обозначает
кобальт, железо, никель или их комбинацию, Х - гафний, иттрий,
кремний, тантал в любом количестве или другие специально внесенные
добавки с их содержанием более 0,01% (по весу) в различных
пропорциях и комбинациях, кроме:
а) CoCrAlY-покрытий, содержащих менее 22% (по весу) хрома,
менее 7% (по весу) алюминия и менее 2% (по весу) иттрия;
б) CoCrAlY-покрытий, содержащих 22-24% (по весу) хрома, 10-12%
(по весу) алюминия и 0,5-0,7% (по весу) иттрия;
в) NiCrAlY-покрытий, содержащих 21-23% (по весу) хрома, 10-12%
(по весу) алюминия и 0,9-1,1% (по весу) иттрия.
6. Термин "алюминиевые сплавы" относится к сплавам с прочностью
при растяжении 190 МПа или выше при температуре 293 К (20°С).
7. Термин "коррозионно-стойкая сталь" означает сталь из серии
AISI-300 (AISI - American Iron and Steel Institute - Американский
институт железа и стали) или сталь соответствующего
национального стандарта.
8. Тугоплавкие металлы и сплавы включают следующие металлы и их
сплавы: ниобий, молибден, вольфрам и тантал.
9. Материалами окон датчиков являются: оксид алюминия
(поликристаллический), кремний, германий, сульфид цинка, селенид
цинка, арсенид галлия, алмаз, фосфид галлия, сапфир, а для окон
датчиков диаметром более 40 мм - фтористый цирконий и фтористый
гафний.
10. Технология одношагового процесса твердофазного
диффузионного насыщения сплошных аэродинамических поверхностей не
контролируется по категории 2.
11. Полимеры включают полиимиды, полиэфиры, полисульфиды,
поликарбонаты и полиуретаны.
12. Термин "модифицированный оксид циркония" означает оксид
циркония с добавками оксидов других металлов (таких, как оксиды
кальция, магния, иттрия, гафния, редкоземельных металлов) в целях
стабилизации определенных кристаллографических фаз и фазовых
составов. Покрытия - температурные барьеры из оксида циркония,
модифицированные оксидом кальция или магния методом смешения или
сплавления, не контролируются.
13. Титановые сплавы - только сплавы для аэрокосмического
применения с прочностью на растяжение 900 МПа или выше при
температуре 293 К (20°С).
14. Стекла с малым коэффициентом линейного расширения включают
стекла, имеющие измеренный при температуре 293 К (20° С) коэффициент
-7 -1
линейного расширения 10 K или менее.
15. Диэлектрический слой - покрытие, состоящее из нескольких
диэлектрических материалов-слоев, в котором интерференционные
свойства структуры, составленной из материалов с различными
показателями отражения, используются для отражения, пропускания или
поглощения в различных диапазонах длин волн. Диэлектрический слой -
понятие, относящееся к структурам, состоящим из более чем четырех
слоев диэлектрика или композиционных слоев диэлектрик-металл.
16. Металлокерамический карбид вольфрама не включает следующие
твердые сплавы, применяемые для режущего инструмента и инструмента
для обработки металлов давлением: карбид вольфрама - (кобальт,
никель), карбид титана - (кобальт, никель), карбид хрома - (никель,
хром) и карбид хрома - никель.
17. Не контролируются технологии, специально разработанные для
нанесения алмазоподобного углерода на любое из следующего: дисководы
(накопители на магнитных дисках) и головки, оборудование для
производства расходных материалов, клапаны для вентилей, диффузоры
громкоговорителей, детали автомобильных двигателей, режущие
инструменты, вырубные штампы и пресс-формы для штамповки,
оргтехника, микрофоны и медицинские приборы.
18. Карбид кремния не включает материалы, применяемые для
режущего инструмента и инструмента для обработки металлов давлением.
19. "Керамические подложки" в том смысле, в котором этот термин
применяется в настоящем пункте, не включают в себя керамические
материалы, содержащие 5% (по весу) или более связующих как отдельных
компонентов, а также в сочетании с другими компонентами.
Технические примечания к таблице:
Процессы, указанные в колонке "Процесс нанесения покрытия",
определяются следующим образом:
1. Химическое осаждение из паровой фазы (CVD) - это процесс
нанесения внешнего покрытия или покрытия с модификацией поверхности
подложки, когда металл, сплав, композиционный материал, диэлектрик
или керамика осаждается на нагретую подложку. Газообразные реагенты
разлагаются или соединяются вблизи подложки или на самой подложке, в
результате чего на ней осаждается требуемый материал в форме
химического элемента, сплава или соединения. Энергия для указанных
химических реакций может быть обеспечена теплом подложки, плазмой
тлеющего разряда или лучом лазера.
Особые примечания:
а) CVD включает следующие процессы: осаждение в направленном
газовом потоке без непосредственного контакта засыпки с подложкой,
CVD с пульсирующим режимом, термическое осаждение с управляемым
образованием центров кристаллизации (CNTD), CVD с применением
плазменного разряда, ускоряющего процесс;
б) засыпка означает погружение подложки в порошковую смесь;
в) газообразные реагенты, используемые в процессе без
непосредственного контакта засыпки с подложкой, производятся с
применением тех же основных реакций и параметров, что и при
твердофазном диффузионном насыщении.
2. Физическое осаждение из паровой фазы, получаемой нагревом, -
это процесс нанесения внешнего покрытия в вакууме при давлении ниже
0,1 Па с использованием какого-либо источника тепловой энергии для
испарения материала покрытия. Процесс приводит к конденсации или
осаждению пара на соответствующим образом установленную подложку.
Обычной модификацией процесса является напуск газа в вакуумную
камеру в целях синтеза химического соединения в покрытии.
Использование ионного или электронного пучка либо плазмы для
активизации нанесения покрытия или участия в этом процессе является
также обычной модификацией этого метода. Применение
контрольно-измерительных устройств для измерения в технологическом
процессе оптических характеристик и толщины покрытия может быть
особенностью этих процессов. Особенности конкретных процессов
физического осаждения из паровой фазы, получаемой нагревом, состоят
в следующем:
а) физическое осаждение из паровой фазы, полученной нагревом
электронным пучком, использует пучок электронов для нагревания и
испарения материала, образующего покрытие;
б) ионно-ассистированное физическое осаждение из паровой фазы,
полученной резистивным нагревом, использует резистивные нагреватели
в сочетании с падающим ионным пучком (пучками) в целях получения
контролируемого и однородного потока пара материала покрытия;
в) при испарении лазером используется импульсный или
непрерывный лазерный луч;
г) в процессе катодного дугового напыления используется
расходный катод, из материала которого образуется покрытие и имеется
дуговой разряд, который инициируется на поверхности катода после
кратковременного контакта с пусковым устройством. Контролируемое
движение дуги приводит к эрозии поверхности катода и образованию
высокоионизованной плазмы. Анод может быть коническим и
располагаться по периферии катода через изолятор, или сама камера
может играть роль анода. Для реализации процесса нанесения покрытия
вне прямой видимости подается электрическое смещение на подложку
Особое примечание.
Описанный в подпункте "г" процесс не относится к нанесению
покрытий неуправляемой катодной дугой и без подачи электрического
смещения на подложку.
д) ионное осаждение - специальная модификация процесса
физического осаждения из паровой фазы, получаемой нагревом, в
котором плазменный или ионный источник используется для ионизации
материала наносимых покрытий, а отрицательное смещение, приложенное
к подложке, способствует экстракции необходимых ионов из плазмы.
Введение активных реагентов, испарение твердых материалов в камере,
а также использование контрольно-измерительных устройств,
обеспечивающих измерение (в процессе нанесения покрытий) оптических
характеристик и толщины покрытий, - обычные модификации этого
процесса.
3. Твердофазное диффузионное насыщение - процесс,
модифицирующий поверхностный слой, или процесс нанесения внешнего
покрытия, при которых изделие погружено в порошковую смесь
(засыпку), состоящую из:
а) порошков металлов, подлежащих нанесению на поверхность
изделия (обычно алюминий, хром, кремний или их комбинации);
б) активатора (в большинстве случаев галоидная соль); и
в) инертного порошка, чаще всего оксида алюминия.
Изделие и порошковая смесь находятся в муфеле с температурой от
1030 К (757°С) до 1375 К (1102°С) в течение достаточно
продолжительного времени для нанесения покрытия.
4. Плазменное напыление - процесс нанесения внешнего покрытия,
при котором в горелку, образующую и управляющую плазмой, подается
порошок или проволока материала покрытия, который при этом плавится
и несется на подложку, где формируется покрытие. Плазменное
напыление может проводиться либо в режиме низкого давления, либо в
режиме высокой скорости.
Особые примечания:
а) низкое давление означает давление ниже атмосферного;
б) высокая скорость означает, что скорость потока на срезе
сопла горелки, приведенная к температуре 293 К (20°С) и давлению
0,1 Мпа, превышает 750 м/с.
5. Нанесение шликера - процесс, модифицирующий поверхностный
слой, или процесс нанесения внешнего покрытия, в которых
металлический или керамический порошок с органической связкой,
суспендированный в жидкости, наносится на подложку посредством
напыления, погружения или окраски с последующими сушкой при
комнатной или повышенной температуре и термообработкой для получения
необходимого покрытия.
6. Осаждение распылением - процесс нанесения внешнего покрытия,
основанный на передаче импульса, когда положительные ионы ускоряются
в электрическом поле в направлении к поверхности мишени (материала
покрытия). Кинетическая энергия падающих на мишень ионов достаточна
для выбивания атомов с поверхности мишени, которые затем осаждаются
на соответствующим образом установленную подложку.
Особые примечания:
а) таблица относится только к триодному, магнетронному или
реакционному осаждению распылением, которое используется для
увеличения адгезии материала покрытия и скорости осаждения, а также
к радиочастотному расширению процесса, что позволяет испарять
неметаллические материалы;
б) для активации процесса осаждения могут быть использованы
низкоэнергетические ионные пучки (менее 5 КэВ).
7. Ионная имплантация - процесс модификации поверхности, когда
легирующий материал ионизируется, ускоряется в электрическом поле и
имплантируется в приповерхностный слой подложки. Это определение
включает также процессы, в которых ионная имплантация производится
одновременно с физическим осаждением из паровой фазы, полученной
нагревом электронным пучком, или с осаждением распылением.
Некоторые пояснения к таблице
Следует понимать, что следующая техническая информация,
сопровождающая таблицу, должна использоваться при необходимости:
1. Нижеследующие технологии предварительной обработки подложек,
указанных в таблице:
1.1. Параметры процесса снятия покрытия химическими методами в
соответствующей ванне:
1.1.1. Состав раствора:
1.1.1.1. Для удаления старых или поврежденных покрытий,
продуктов коррозии или инородных отложений;
1.1.1.2. Для приготовления новых подложек;
1.1.2. Время обработки;
1.1.3. Температура ванны;
1.1.4. Число и последовательность промывочных циклов;
1.2. Визуальные и макроскопические критерии для определения
приемлемости чистоты подложки;
1.3. Параметры цикла термообработки:
1.3.1. Атмосферные параметры:
1.3.1.1. Состав атмосферы;
1.3.1.2. Давление;
1.3.2. Температура термообработки;
1.3.3. Время термообработки;
1.4. Параметры процесса подготовки поверхности подложки:
1.4.1. Параметры пескоструйной обработки:
1.4.1.1. Состав крошки, дроби;
1.4.1.2. Размеры и форма крошки, дроби;
1.4.1.3. Скорость крошки;
1.4.2. Время и последовательность циклов очистки после
пескоструйной очистки;
1.4.3. Параметры финишной обработки поверхности;
1.4.4. Применение связующих, способствующих адгезии;
1.5. Параметры маски:
1.5.1. Материал маски;
1.5.2. Расположение маски
2. Нижеследующие технологии контроля качества технологических
параметров, используемые для оценки покрытия и процессов, указанных
в таблице:
2.1. Параметры атмосферы:
2.1.1. Состав;
2.1.2. Давление;
2.2. Время;
2.3. Температура;
2.4. Толщина;
2.5. Коэффициент преломления;
2.6. Контроль состава покрытия
3. Нижеследующие технологии обработки указанных в таблице
подложек с нанесенными покрытиями:
3.1. Параметры упрочняющей дробеструйной обработки:
3.1.1. Состав дроби;
3.1.2. Размер дроби;
3.1.3. Скорость дроби;
3.2. Параметры очистки после дробеструйной обработки;
3.3. Параметры цикла термообработки:
3.3.1. Параметры атмосферы:
3.3.1.1. Состав;
3.3.1.2. Давление;
3.3.2. Температура и время цикла;
3.4. Визуальные и макроскопические критерии возможной приемки
подложки с нанесенным покрытием после термообработки
4. Нижеследующие технологии контроля качества подложек с
нанесенными покрытиями, указанных в таблице:
4.1. Критерии для статистической выборки;
4.2. Микроскопические критерии для:
4.2.1. Увеличения;
4.2.2. Равномерности толщины покрытия;
Страницы:
Стр.1 |
Стр.2 |
Стр.3 |
Стр.4 |
Стр.5 |
Стр.6 |
Стр.7 |
Стр.8 |
Стр.9 |
Стр.10 |
Стр.11 |
Стр.12 |
Стр.13 |
Стр.14 |
Стр.15 |
Стр.16 |
Стр.17 |
Стр.18 |
Стр.19 |
Стр.20 |
Стр.21 |
Стр.22 |
Стр.23 |
Стр.24 |
Стр.25 |
Стр.26 |
Стр.27 |
Стр.28 |
Стр.29 |
Стр.30 |
Стр.31 |
Стр.32 |
Стр.33 |
Стр.34 |
Стр.35 |
Стр.36 |
Стр.37 |
Стр.38 |
Стр.39 |
Стр.40 |
Стр.41 |
Стр.42 |
Стр.43 |
Стр.44 |
Стр.45 |
Стр.46 |
Стр.47 |
Стр.48 |
Стр.49 |
Стр.50 |
Стр.51 |
Стр.52 |
Стр.53 |
Стр.54 |
Стр.55 |
Стр.56 |
Стр.57 |
Стр.58
|
